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　　掃描透射電鏡的原理與掃描透鏡類(lèi)似，只不過(guò)它采集的是透過(guò)試樣的電子。它的優(yōu)點(diǎn)之一是樣品后面不再需要成像透鏡，同時(shí)可以將透過(guò)樣品的電子分離為彈性、非彈性散射電子，分別進(jìn)行信息處理。它的缺點(diǎn)與掃描電鏡類(lèi)似：高精度測(cè)量要求超高真空，樣品還需要金屬鍍膜等處理，而且樣品不能太厚阻擋電子穿透，測(cè)量后的樣品因輻射受損。光學(xué)共焦顯微鏡共焦顯微鏡的原理如圖所示，如果測(cè)量點(diǎn)正好位于物鏡焦點(diǎn)上，從光電接收器可以得到最大信號(hào)，如果測(cè)量點(diǎn)偏離焦點(diǎn)，信號(hào)相應(yīng)變小。垂直方向的分辨率取決于物鏡的焦距與光纜小孔的直徑，一般可以達(dá)到納米級(jí)，水平方向的分辨率依賴(lài)測(cè)量波長(zhǎng)和系統(tǒng)數(shù)值孔徑，通常小于。嚴(yán)格地講，偏振干涉儀實(shí)際上是外差干涉的一種。構(gòu)成干涉裝置的元件主要包括偏振分光鏡、四分之一波片等。這種干涉儀的突出優(yōu)點(diǎn)是共光路和倍光程，共光路降低了環(huán)境影響，而倍光程則提高了系統(tǒng)的測(cè)量分辨率。當(dāng)引入外差式光源后，該干涉儀可以實(shí)現(xiàn)納米測(cè)量，同時(shí)它還有適于大批量制造的特點(diǎn)。今后一段時(shí)間對(duì)它的深入研究將主要面對(duì)提高精度和推向?qū)嵱没膯?wèn)題。

　　調(diào)頻激光干涉儀在激光器一端采用光源頻率調(diào)整技術(shù)，同時(shí)在信號(hào)端利用電路細(xì)分等方法，可以獲得納米級(jí)別的測(cè)量結(jié)果。一種利用電流調(diào)制半導(dǎo)體激光器的調(diào)頻激光干涉儀經(jīng)過(guò)干涉儀和信號(hào)處理后7可實(shí)現(xiàn)2內(nèi)的亞納米級(jí)精度的測(cè)量。德國(guó)8公司生產(chǎn)的小型干涉儀4系列使用氦氖激光器，參考臂上采用壓電陶瓷調(diào)制產(chǎn)生正弦波信號(hào)，后續(xù)電路采用電路細(xì)分，在理論上分辨率達(dá)到調(diào)頻激光干涉法將光學(xué)和信號(hào)電路處理方法相結(jié)合，符合當(dāng)前的動(dòng)態(tài)高速、高精度測(cè)量的發(fā)展趨勢(shì)，因此是一種很有潛力的納米測(cè)量方法。掃描探針顯微鏡掃描探針顯微鏡：的最早成員掃描隧道顯微鏡依據(jù)電子隧道效應(yīng)，采用反饋控制原理探測(cè)樣品表面形貌，基本結(jié)構(gòu)如。