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技術文章
干式真空泵維修內(nèi)部清洗辦法
發(fā)布時間:2017-01-12        瀏覽次數(shù):454        返回列表

【產(chǎn)品概述】:
干式真空泵維修是具有耐腐蝕性能的泵,是專為輸送含有細顆粒的腐蝕性介質而設計開發(fā)的,因為其獨特的生產(chǎn)設計,使其具有耐磨性、耐沖擊性、 抗蠕變性和極好的耐腐蝕性,干式真空泵在使用一段后都是需要進行內(nèi)部清理,這也是為了延長它的使用時間,保證使用效果,進行內(nèi)部清理的時候需要做的工作有以下幾點。
1、刮去葉輪內(nèi)外表面及密封環(huán)和軸承等處所積存的水垢及鐵銹等物,再用水或壓縮空氣清洗、吹凈。
2、清理殼體各接合表面上積存的油垢和鐵銹。
3、檢查管內(nèi)是否暢通并清理水封管。
4、清理軸瓦及軸承,除去油垢,再清洗油圈及油面計等,滾珠軸承要用汽油清洗。
5、暫時不進行裝配的零、部件,在清洗后都要及時的涂油保護。
干式真空泵維修的內(nèi)部清洗不僅是可以延長泵的使用壽命更重要的是可以減少企業(yè)損失,保證生產(chǎn)的順利進行。

【產(chǎn)品應用】:
干式真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
4)在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。

干式真空泵維修首先我們要先用專業(yè)的檢測設備檢測,然后用專業(yè)的拆卸工具拆解,從多個方面了解才可以得出一個經(jīng)濟又保量的真空泵維修方案。

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